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公司基(jī)本资料信息(xī)
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产(chǎn)品概(gài)括
双(shuāng)腕(wàn)玻璃基板搬运机器人
负(fù)载:95KG
动(dòng)态范围:2300mm
控制柜:DX100
用(yòng)途:搬运、洁(jié)净室(shì)
产品详情
大动作范(fàn)围:*大搬运尺(chǐ)寸达730*920mm双(shuāng)腕玻璃基板搬运机器人。
手(shǒu)臂采用连杆机构(gòu)实现高(gāo)钢性。
采用真空内传送带驱动实现(xiàn)低放出气体性(xìng)能(néng)。
手(shǒu)臂可内置基板(bǎn)传(chuán)感(gǎn)器(qì)用配线(xiàn)。
项目(mù) | 规格 | 备注 | |
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名称 | SEMISTAR-VD95D |
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机(jī)型 | XU-RVD1450D6-A10(配传感电缆) |
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构造 | 水平(píng)多关(guān)节形(4个自由度) |
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动作范围(wéi) | L,R轴(伸缩(suō)) | 2300mm |
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S轴(旋(xuán)转) | -170°~+170° |
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U轴(升降) | 150mm |
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动作时间*1 (*高速度运作时) |
L,R轴(zhóu)(伸缩) | 3.2秒以下(xià) | 2300mm伸缩距离 |
S轴(回转) | 3.8秒(miǎo)以下 | 340deg旋(xuán)转距离(但L,R=0) | |
U轴(zhóu)(升降) | 2.5秒以下 | 150mm升降距离 | |
重复定位(wèi)精度*2 | 各轴±0.3mm | 抓手安装部分(fèn)中心位置时 | |
手臂抖动精度 | ±0.3mm以下 | 水平方(fāng)向,抓手(shǒu)安(ān)装部分中心位置时(shí) | |
负载 | 95KG/手(shǒu)臂(bì) | 含(hán)抓手重量(liàng) | |
容许惯性力矩(jǔ)(CD2/4) | *大118kg·m2 | 含抓手重量,抓手安装部分中心位(wèi)置时 | |
耐真空(kōng)度 | 1*10-6Pa |
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本体(tǐ)质量 | 1500kg |
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适用控制柜式样 | ERDR-VD0095D-A00 | 三相AC200V,3.0kVA |
*1:动作节(jiē)拍不(bú)保(bǎo)证(zhèng)带有基板时(shí)搬运速度。由(yóu)于抓手的形状及抓手的(de)安(ān)装部(bù)分的钢(gāng)性产生共(gòng)振时,会(huì)影响动作节拍,请重新设定。
*2:依据JIS B8432标准的(de)动作重复定位精度。但有无工件时负载变动以(yǐ)及使用速度的差(chà)异、温(wēn)度变化(huà)的影响不考虑(lǜ)在内。
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